asia
asia

Ustc ṣe ilọsiwaju pataki ninu aaye ti iṣelọpọ Laser Micro-Nano iṣelọpọ

Ẹgbẹ Iwadi Itaang Liang Ni Ile-iṣẹ Suzhou fun Ikẹkọ Suzhou fun Ile-iṣẹ Laser Ati awọn iyika bii awọn kadis, tẹẹrẹ, awọn membris ati awọn iyika ifilọlẹ, nitorinaa awọn aaye ifilọlẹ, awọn aaye miiran ni awọn ireti ohun elo pataki. Awọn abajade iwadi naa ti a tẹjade laipẹ ni "awọn ibaraẹnisọrọ iseda" labẹ akọle "Leaser tẹ microictonics".

Awọn ẹrọ orin ti a tẹjade jẹ imọ-ẹrọ ti n jade ti o nlo awọn ọna titẹjade lati ṣelọpọ awọn ọja elekitiro. O pade awọn abuda ti irọrun ati aṣa ara ẹni ti awọn ọja itanna, ati pe yoo mu iṣipopada imọ-ẹrọ tuntun wa si ile-iṣẹ microelectrory. Ni ọdun 20 sẹhin, titẹ sita inkjet, gbigbe ni ita (gbigbe), tabi awọn imọ-ẹrọ titẹjade miiran ti ṣe ṣiṣe didara ti iṣẹ-Organic ati iwulo fun agbegbe ile-iwe. Sibẹsibẹ, iwọn Ẹya ti awọn ọna titẹjade ti o wa loke jẹ igbagbogbo lori ilana ti awọn ohun elo ti microns, tabi gbarale apapọ awọn ilana pupọ lati ṣaṣeyọri ilọsiwaju ti awọn ẹrọ iṣẹ. Atilẹyin ẹrọ lilọ kiri-Nano Sile Imọ ti o lo ibaraenisọrọ ti nonlinear laarin awọn ohun elo Laser ati iṣelọpọ agbara ti o nira lati ṣaṣeyọri nipa apeere kan ti <100 Nm. Sibẹsibẹ, pupọ julọ ti laser bulọọgi-awọn ẹya ti isiyi wa awọn ohun elo polymer tabi awọn ohun elo irin. Aini awọn ọna kikọ awọn kikọ Laser taara fun awọn ohun elo Sumbondoctor tun jẹ ki o nira lati faagun ohun elo ti Laser Micro ara ẹrọ nṣiṣẹ si aaye ti awọn ẹrọ microectronic.

1-2

Ninu iwe-iṣẹ ati aṣa Yang Liang, ni ifowosowopo pẹlu titẹjade alakọja ti awọn ohun elo gẹgẹ bi ẹrọ titẹjade ti o kere ju ti gbogbo, ati iwọn 1) jẹ <1 μm. Iyọ yii jẹ ki o ṣee ṣe lati ṣe akanṣe apẹrẹ ati titẹ sita, awọn apanirun ti o ni ibamu, ati iṣakoso pupọ ti titẹ awọn ẹrọ microcectronic. Lori ipilẹ yii, ẹgbẹ iwadi ni aṣeyọri ni kikun kikọ ni apa taara ti awọn dodes, awọn memmissis ati awọn iyika enojusi ti ara (Nọmba 2). Imọ-ẹrọ yii jẹ ibaramu pẹlu titẹ sita inkjit ibile ati awọn imọ-ẹrọ miiran, ati pe o nireti lati faagun si titẹjade ti awọn ohun elo ohun elo ti o jẹ irin-ajo irin-ajo ati awọn ẹrọ nla-mẹta.

2-3

Iwe iwadi: https: //www.nature.com/surticles/s41467-36-3622-7


Akoko ifiweranṣẹ: Mar-09-2023